SiC Schottky Barrier Diodeのフォトルミネッセンスマッピング測定(C0254)

SiC中積層欠陥の検出事例

概要

SiCはパワーデバイス用途向けなどに近年盛んに研究・利用が進んでいます。SiCは種々のポリタイプを持つため、積層配置が乱雑になる積層欠陥などが容易に発生するという問題を持ちます。この欠陥の検出法の一つとして、試料を光で刺激した際に放出される光を分析するフォトルミネッセンス（PL）法があります。
市販品SiC Shottky Barrier Diodeを解体してチップを取り出した後、PLマッピング測定を行い欠陥起因の発光を検出した事例を紹介します。

データ

この分析事例のPDFファイルを開く SiC Schottky Barrier Diodeのフォトルミネッセンスマッピング測定

MST技術資料No.	C0254
掲載日	2012/11/22
測定法・加工法	［PL］フォトルミネッセンス法その他
製品分野	パワーデバイス
分析目的	構造評価故障解析・不良解析製品調査

関連する分析事例

掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
2024/04/11	ECLIA法による免疫関連項目の測定(B0300)	その他	その他	その他
2024/04/11	新型コロナウイルスPCR検査・抗体検査(B0299)	その他	その他	その他
2024/03/28	SNP解析の概要と特徴(B0298)	その他	バイオテクノロジ医薬品化粧品食品環境	その他
2024/03/28	リアルタイムPCR法によるSNP解析(B0297)	その他	バイオテクノロジ医薬品化粧品食品環境	その他
2023/01/26	光ファイバーのコアとクラッドの定性評価(C0685)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法その他	電子部品高分子材料その他	組成分布評価不純物評価・分布評価その他
2022/12/22	果物によるグルコシルセラミドの違いを調査(C0683)	［HPLC］高速液体クロマトグラフ法［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法その他	化粧品日用品食品	その他
2022/12/08	第一原理計算によるワイドギャップ半導体窒化ガリウム（GaN）における欠陥準位の解析(C0680)	［PL］フォトルミネッセンス法計算科学・AI・データ解析	パワーデバイス太陽電池酸化物半導体	その他
2022/11/24	新型コロナウイルスゲノム解析(C0679)	計算科学・AI・データ解析その他	バイオテクノロジ	その他
2022/08/11	耐候性試験による製品劣化調査(C0676)	その他耐候性試験	光デバイス電子部品太陽電池照明ディスプレイ日用品	劣化調査・信頼性評価製品調査安全性試験
2022/06/09	レーザー顕微鏡による表面形状評価(B0283)	その他	LSI・メモリ	形状評価