TEMによる多元系金属微粒子の結晶構造観察(C0116)
InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察
概要
Csコレクタ(球面収差補正機能)付きSTEM装置により、超高分解能観察(分解能0.10nm)が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。
異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。
※High-Angle Annular Dark-Field:原子量(Z)に比例したコントラストが得られます。
データ
InGaZnO4粒子の超高分解能TEM像(STEM像)
InGaZnO4結晶モデル
HAADF-STEM像
シミュレーション像