ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価(B0210)

XPS:X線光電子分光法

概要

XPS分析ではX線照射により得られた光電子のエネルギーを観測することにより、物質表面の結合状態評価を行います。金属元素が酸化状態にあるかどうかの評価はもちろん、酸化によるエネルギーシフト(ケミカルシフト)が大きい元素では、複数の価数の存在、及び存在割合についての評価も可能となります。以下に、複数価数評価可能な主な金属元素と酸化物を示します。

複数価数評価可能な主な金属酸化物

MST技術資料No.B0210
掲載日2015/06/11
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
製品分野その他
分析目的化学結合状態評価
膜厚評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
HAXPESによるオージェピークの重複を回避した評価 2021/11/25 HAXPESによるオージェピークの重複を回避した評価(B0273) [XPS]X線光電子分光法
[HAXPES]硬X線光電子分光法
パワーデバイス
電子部品
太陽電池
二次電池
燃料電池
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
二次電池正極の結合状態評価 2021/09/02 二次電池正極の結合状態評価(C0659) [XPS]X線光電子分光法
[HAXPES]硬X線光電子分光法
雰囲気制御下での処理
二次電池
化学結合状態評価
製品調査
二次電池セパレータの構造評価 2021/08/12 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
[XRD]X線回折法
[TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法
[IP法]Arイオン研磨加工
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価 2021/04/29 ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価(C0003) [XPS]X線光電子分光法
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
二次電池負極SEI被膜の元素分布評価・化学状態評価 2021/02/11 二次電池負極SEI被膜の元素分布評価・化学状態評価(C0645) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
雰囲気制御下での処理
二次電池
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
膜厚評価
構造評価
製品調査
SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価 2020/07/23 SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価(C0612) [AES]オージェ電子分光法
[XPS]X線光電子分光法
その他
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
膜厚評価
XPSによるSn表面の状態評価 2020/07/02 XPSによるSn表面の状態評価(C0603) [XPS]X線光電子分光法
電子部品
酸化物半導体
化学結合状態評価
その他
切断加工を併用した金属配管内壁のXPS分析 2020/07/02 切断加工を併用した金属配管内壁のXPS分析(C0602) [XPS]X線光電子分光法
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価
液晶ディスプレイの劣化分析 2020/06/25 液晶ディスプレイの劣化分析(C0601) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IC]イオンクロマトグラフ法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
計算科学・AI・データ解析
ディスプレイ
微量濃度評価
化学結合状態評価
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
XPSによる広域定量マッピング 2020/06/25 XPSによる広域定量マッピング(C0600) [XPS]X線光電子分光法
電子部品
製造装置・部品
日用品
組成分布評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ