ウエットエッチングによる有機付着物除去(C0383)
低ダメージで表面汚染を除去してXPSによる評価を行います
概要
XPSは表面敏感な手法のため、大気等による有機付着物由来のCが主成分レベルで検出されます。こういった有機付着物由来のCの影響を減らすことは、膜本来の組成を評価する上で重要です。
通常、有機付着物の除去にはArイオンスパッタを用いますが、スパッタによるダメージにより膜本来の組成,結合状態が評価できない場合があります。Arイオンスパッタを使用せず、表面酸化層をウェットエッチングを用いて除去することで、有機付着物由来のCの影響を低減させた例をご紹介します。
データ
SiC膜について、ウェットエッチング処理前後に評価を行いました。
エッチング処理後において有機付着物、表面酸化層が減少し、膜成分が増加する傾向が確認されました。
MST技術資料No. | C0383 |
掲載日 | 2015/05/28 |
測定法・加工法 | [XPS]X線光電子分光法
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製品分野 | LSI・メモリ パワーデバイス 光デバイス 製造装置・部品 酸化物半導体
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分析目的 | 組成評価・同定 化学結合状態評価
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