チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察(C0390)

Csコレクタ付TEMによる高分解能TEM観察

概要

ABF-STEM像(走査透過環状明視野像)により軽元素の原子位置を直接観察することができます。
HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。
本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。

データ

HAADF-STEM像

ABF-STEM像

EDX面分析結果

MST技術資料No.C0390
掲載日2015/07/30
測定法・加工法[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
製品分野LSI・メモリ
分析目的形状評価
構造評価

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