結晶Si太陽電池の拡散層評価(C0212)

ドーパントの定量評価およびキャリアの分布評価

概要

裏面電極型結晶Si太陽電池（バックコンタクト型Si太陽電池）において、電極直下のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。また、キャリアの分布評価を行うことで、p/nの極性判定や空乏層を断面方向から可視化することが可能です。

データ

MST技術資料No.	C0212
掲載日	2011/05/26
測定法・加工法	［SIMS］二次イオン質量分析法 ［SCM］走査型静電容量顕微鏡法・［SNDM］走査型非線形誘電率顕微鏡法 その他
製品分野	太陽電池
分析目的	微量濃度評価 形状評価 製品調査