TDSによる脱離成分の推定(C0453)
複数質量の脱ガスパターンを比較します
概要
TDSの分析結果では、一つの質量電荷比(m/z)に対して複数の成分が検出されることがあります。このような場合でも、複数の質量について測定を行い脱ガスパターンを比較することで、昇温加熱により脱離した成分を推定することが可能です。
Si基板上W膜のTDS分析結果を例に、水とアンモニア(m/z=17)、有機物とアルゴン(m/z=40)の成分推定方法について説明します。
データ
(1)水とフラグメントイオン
H2Oが脱離した場合は、m/z=18の強度に対し一定の割合でm/z=17(フラグメントイオンのOH+)が検出されます。
(2)アンモニア
アンモニア(NH3)はm/z=17に検出されるので、m/z=17と18の脱ガスパターンが異なる場合は、水だけではなくNH3+が検出されたと推定されます。
(3)アルゴン
Arが脱離した場合は、m/z=40の強度に対し一定の割合でm/z=20(Ar++)が検出されます。
(4)有機成分
m/z=40の脱ガスパターンがm/z=20(Ar++)と異なりm/z=15(CH3+有機物のフラグメントイオン)と挙動が似ている場合は、m/z=40は有機物(C3H4+など)起因の脱ガスであると推定されます。
※脱ガス成分を推定するためには定性分析(
m/z 2~199に対応)が有効です。
MST技術資料No. | C0453 |
掲載日 | 2016/12/08 |
測定法・加工法 | [TDS]昇温脱離ガス分析法
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製品分野 | LSI・メモリ
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分析目的 | 組成評価・同定
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