SEM装置での歪み評価(B0098)

EBSD:電子後方散乱回折法

概要

TEM(NBD:Nano Beam Diffraction)のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。
SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。
また、局所的な格子歪みをテンソルデータとして検出できる可能性があります。*

EBSD歪み測定の原理

歪み測定各手法との比較

※)引用:鈴木清一, David J. Dingley:"EBSDパターンを用いた格子歪みの精密測定", 顕微鏡Vol.42, No.2

データ例

SOI基板の断面歪み解析結果:ラマン測定との比較

SOI基板の断面歪み解析結果:3方向での歪み解析データの比較

※x2方向(試料傾斜方向)ではビームが広がるため、信頼性が低くなります。

仕様

  • 測定実績:Si, GaN, InP等
  • 測定可能領域:1μm~数十μm(ライン分析)
  • 分解能:数十nm~

注意点

  • 分析の際、凹凸の影響を大きく受けます。
  • 測定ライン中、もしくはその延長線上から参照パターンを取得する必要があります。

MST技術資料No.B0098
掲載日2010/01/01
測定法・加工法[EBSD]電子後方散乱回折法
製品分野LSI・メモリ
電子部品
太陽電池
分析目的構造評価
応力・歪み評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
Xe-プラズマFIBによる構造解析 2020/07/16 Xe-プラズマFIBによる構造解析(B0255) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極活物質の構造評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の構造評価(C0605) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
二次電池
形状評価
構造評価
製品調査
STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した多結晶体の結晶構造解析 2019/03/14 STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した多結晶体の結晶構造解析(C0557) [EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
計算科学・AI・データ解析
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
二次電池
酸化物半導体
構造評価
XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価 2015/06/25 XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価(C0384) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[XRD]X線回折法
パワーデバイス
形状評価
構造評価
透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析 2014/02/13 透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析(B0188) [EBSD]電子後方散乱回折法
LSI・メモリ
電子部品
構造評価
CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価 2010/04/01 CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価(C0175) [EBIC]電子線誘起電流
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
太陽電池
形状評価
構造評価
CIGS薄膜太陽電池の結晶粒と抵抗評価 2010/04/01 CIGS薄膜太陽電池の結晶粒と抵抗評価(C0174) [EBSD]電子後方散乱回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
太陽電池
形状評価
構造評価
SEM装置での歪み評価 2010/01/01 SEM装置での歪み評価(B0098) [EBSD]電子後方散乱回折法
LSI・メモリ
電子部品
太陽電池
構造評価
応力・歪み評価
CIGS膜の結晶粒評価 2010/01/01 CIGS膜の結晶粒評価(C0126) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
太陽電池
形状評価
構造評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ