DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化(C0379)

XAFSによる高精度解析

概要

コーティング材料として幅広い分野で用いられているDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜はミクロな視点から見ると、ダイヤモンド構造に対応するsp³混成軌道有する炭素元素と、グラファイト構造に対応するsp²混成軌道を有する炭素元素が混ざり合って構成されています。
DLC膜の特性を決める一つの指標として、sp²/(sp²+sp³)比が挙げられます。XAFSによってDLC膜のsp²/(sp²+sp³)比の高精度定量化が可能です。

データ

従来の手法では分離の精度が不十分であったDLC膜のsp²/(sp²+sp³)比をXAFSによって高精度に評価することが可能です。検出深さ数nm程度の情報が得られます。

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MST技術資料No.	C0379
掲載日	2015/04/23
測定法・加工法	［XAFS］X線吸収微細構造
製品分野	電子部品製造装置・部品日用品
分析目的	化学結合状態評価構造評価

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