分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
半導体パッケージのはんだ濡れ性試験 2023/10/19 半導体パッケージのはんだ濡れ性試験(C0699) 恒温恒湿試験
はんだ濡れ性試験
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
劣化調査・信頼性評価
発光寿命測定による キャリアライフタイム評価 2023/08/24 発光寿命測定による キャリアライフタイム評価(C0696) 蛍光寿命測定
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
故障解析・不良解析
製品調査
その他
撥水箇所の成分分析 2023/02/02 撥水箇所の成分分析(C0686) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
照明
ディスプレイ
製造装置・部品
酸化物半導体
高分子材料
日用品
組成分布評価
不純物評価・分布評価
剥離原因となる金属界面の有機物評価 2022/11/10 剥離原因となる金属界面の有機物評価(B0285) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
酸化物半導体
故障解析・不良解析
不純物評価・分布評価
はんだボール表面酸化膜の三次元分布評価 2022/09/29 はんだボール表面酸化膜の三次元分布評価(B0284) [AES]オージェ電子分光法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
レーザー顕微鏡による表面形状評価 2022/06/09 レーザー顕微鏡による表面形状評価(B0283) その他
LSI・メモリ
形状評価
分子動力学計算によるカーボンナノチューブの曲げ変形シミュレーション 2021/11/18 分子動力学計算によるカーボンナノチューブの曲げ変形シミュレーション(C0665) 計算科学・AI・データ解析
LSI・メモリ
燃料電池
ディスプレイ
その他
形状評価
応力・歪み評価
分子動力学計算からわかること 2021/09/09 分子動力学計算からわかること(B0270) 計算科学・AI・データ解析
LSI・メモリ
二次電池
ディスプレイ
酸化物半導体
高分子材料
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
形状評価
構造評価
熱物性評価
応力・歪み評価
不純物評価・分布評価
AI技術を用いたCT画像のアーチファクト低減 2021/07/01 AI技術を用いたCT画像のアーチファクト低減(C0653) X線CT法
計算科学・AI・データ解析
その他
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
日用品
形状評価
構造評価
デバイスの金属膜中および界面における金属不純物の評価 2020/12/10 デバイスの金属膜中および界面における金属不純物の評価(C0638) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
酸化物半導体
故障解析・不良解析
製品調査
第一原理計算によるALD成膜におけるプリカーサ吸着シミュレーション 2020/11/19 第一原理計算によるALD成膜におけるプリカーサ吸着シミュレーション(C0639) 計算科学・AI・データ解析
LSI・メモリ
酸化物半導体
構造評価
その他
半導体中キャリアの直流電圧依存性評価 2020/10/01 半導体中キャリアの直流電圧依存性評価(C0628) [SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
照明
酸化物半導体
形状評価
製品調査
Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察 2020/07/16 Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察(C0610) [SEM]走査電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
製品調査
Xe-プラズマFIBによる構造解析 2020/07/16 Xe-プラズマFIBによる構造解析(B0255) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
第一原理計算から分かること 2020/06/25 第一原理計算から分かること(B0256) 計算科学・AI・データ解析
LSI・メモリ
パワーデバイス
組成評価・同定
化学結合状態評価
構造評価
単結晶Si表面のダメージ評価 2020/06/04 単結晶Si表面のダメージ評価(C0549) [XPS]X線光電子分光法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
構造評価
TDSによるα-アルミナ(α-Al2O3)の分析 2020/05/06 TDSによるα-アルミナ(α-Al2O3)の分析(C0578) [TDS]昇温脱離ガス分析法
LSI・メモリ
製造装置・部品
微量濃度評価
その他
STEM・EDXデータと像シミュレーションの組み合わせによる結晶構造評価 2020/05/06 STEM・EDXデータと像シミュレーションの組み合わせによる結晶構造評価(C0558) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
計算科学・AI・データ解析
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
二次電池
酸化物半導体
構造評価
C-SAMによる貼り合わせウエハ内部の空隙調査 2020/05/06 C-SAMによる貼り合わせウエハ内部の空隙調査(C0536) [C-SAM]超音波顕微鏡法
LSI・メモリ
パワーデバイス
酸化物半導体
形状評価
故障解析・不良解析
製品調査
ラマンマッピングによる応力評価 2020/05/06 ラマンマッピングによる応力評価(C0522) [Raman]ラマン分光法
LSI・メモリ
パワーデバイス
太陽電池
組成分布評価
構造評価
応力・歪み評価
低温顕微PL分析によるSi系IGBTチップ断面の評価 2020/05/06 低温顕微PL分析によるSi系IGBTチップ断面の評価(C0485) [PL]フォトルミネッセンス法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
低温PL・SIMS分析によるSi基板に含まれる格子間型炭素の評価 2020/05/06 低温PL・SIMS分析によるSi基板に含まれる格子間型炭素の評価(C0481) [SIMS]二次イオン質量分析法
[PL]フォトルミネッセンス法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
太陽電池
微量濃度評価
構造評価
故障解析・不良解析
AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価 2020/05/06 AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価(C0451) [AES]オージェ電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
ウォーターマークの無機・有機同時評価 2020/05/06 ウォーターマークの無機・有機同時評価(C0034) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
SSDP-SIMSによるゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価 2020/05/06 SSDP-SIMSによるゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価(C0028) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SSDP用加工]基板側からの測定用加工
LSI・メモリ
組成評価・同定
微量濃度評価
組成分布評価
Cu表面のXPSによる酸化状態評価 2020/05/06 Cu表面のXPSによる酸化状態評価(C0047) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価 2020/05/06 アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価(C0262) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
化学結合状態評価
組成分布評価
膜厚評価
高温XRDによる金属膜の評価 2020/05/06 高温XRDによる金属膜の評価(C0270) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
太陽電池
酸化物半導体
構造評価
TOF-SIMSによるSiウエハの保管状態による表面汚染評価 2020/05/06 TOF-SIMSによるSiウエハの保管状態による表面汚染評価(C0120) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
半導体基板中軽元素の高感度分析 2020/05/06 半導体基板中軽元素の高感度分析(C0117) [SIMS]二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
微量濃度評価
組成分布評価

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