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分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析 2018/03/01 発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析(B0241) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
製造装置・部品
日用品
組成評価・同定
液中AFM測定を用いた基板上の高分子の形状変化観察 2018/02/08 液中AFM測定を用いた基板上の高分子の形状変化観察(C0508) [AFM]原子間力顕微鏡法
電子部品
ディスプレイ
製造装置・部品
医薬品
日用品
形状評価
ポジ型フォトレジストの構造解析 2018/01/18 ポジ型フォトレジストの構造解析(C0504) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
組成評価・同定
TDSによる腐食性ガス分析 2017/12/28 TDSによる腐食性ガス分析(C0500) [TDS]昇温脱離ガス分析法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
微量濃度評価
故障解析・不良解析
その他
TDSによる有機膜の熱処理温度依存性評価 2017/12/21 TDSによる有機膜の熱処理温度依存性評価(C0499) [TDS]昇温脱離ガス分析法
電子部品
照明
ディスプレイ
組成評価・同定
微量濃度評価
その他
TDSによるレジスト膜の脱ガス評価 2017/12/21 TDSによるレジスト膜の脱ガス評価(C0498) [TDS]昇温脱離ガス分析法
電子部品
照明
ディスプレイ
組成評価・同定
微量濃度評価
その他
炭素材料のラマンマッピング 2017/09/28 炭素材料のラマンマッピング(C0489) [Raman]ラマン分光法
電子部品
二次電池
製造装置・部品
医薬品
組成分布評価
構造評価
AESによるボンディング界面の元素分析 2017/09/14 AESによるボンディング界面の元素分析(C0486) [AES]オージェ電子分光法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
故障解析・不良解析
Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析 2017/09/14 Si系IGBTチップ断面の低温顕微PL分析(C0485) [PL]フォトルミネッセンス法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
低温PL・SIMS分析によるSi基板に含まれる格子間型炭素の評価 2017/08/31 低温PL・SIMS分析によるSi基板に含まれる格子間型炭素の評価(C0481) [SIMS]二次イオン質量分析法
[PL]フォトルミネッセンス法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
太陽電池
微量濃度評価
構造評価
故障解析・不良解析
代表的な材料・目的別のTDS解析例 2017/03/30 代表的な材料・目的別のTDS解析例(B0232) [TDS]昇温脱離ガス分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
ディスプレイ
製造装置・部品
酸化物半導体
微量濃度評価
その他
石英・ガラス中の「水」の評価 2017/02/16 石英・ガラス中の「水」の評価(C0460) [SIMS]二次イオン質量分析法
その他
電子部品
ディスプレイ
微量濃度評価
劣化調査・信頼性評価
TOF-SIMSによる微小ビアのイメージ分析 2017/01/12 TOF-SIMSによる微小ビアのイメージ分析(C0454) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
組成分布評価
故障解析・不良解析
AESによるCu表面変色部の評価 2016/12/01 AESによるCu表面変色部の評価(C0451) [AES]オージェ電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価 2016/12/01 Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価(C0443) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SRA]広がり抵抗測定法
パワーデバイス
電子部品
微量濃度評価
製品調査
EGA-MS法による発生ガス分析 2016/12/01 EGA-MS法による発生ガス分析(B0229) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
製造装置・部品
日用品
熱物性評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析 2016/11/24 TOF-SIMSによる微小領域の定性・イメージ分析(C0449) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
組成分布評価
はんだ剥離部断面のTOF-SIMS分析 2016/11/17 はんだ剥離部断面のTOF-SIMS分析(C0450) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
故障解析・不良解析
ハートカットEGA法による発生ガス分析 2016/10/13 ハートカットEGA法による発生ガス分析(B0228) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
製造装置・部品
日用品
熱物性評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
XAFSによるシリコン酸化膜評価 2016/10/06 XAFSによるシリコン酸化膜評価(C0439) [XAFS]X線吸収微細構造
パワーデバイス
電子部品
太陽電池
二次電池
ディスプレイ
酸化物半導体
化学結合状態評価
構造評価
室内雰囲気中の腐食成分分析 2016/08/18 室内雰囲気中の腐食成分分析(C0436) [IC]イオンクロマトグラフ法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
環境
微量濃度評価
その他
イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温フォトルミネッセンススペクトル 2016/07/28 イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温フォトルミネッセンススペクトル(C0434) [PL]フォトルミネッセンス法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
太陽電池
構造評価
故障解析・不良解析
ポリイミド樹脂の構造解析 2016/06/23 ポリイミド樹脂の構造解析(C0430) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
組成評価・同定
製品調査
表面酸化膜のある異物の状態評価 2016/04/14 表面酸化膜のある異物の状態評価(C0420) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
粉体異物の定性分析 2016/02/18 粉体異物の定性分析(C0408) [FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
[XRD]X線回折法
[XRF]蛍光X線分析法
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
故障解析・不良解析
Siウエハの保管状態による表面汚染評価 2015/11/26 Siウエハの保管状態による表面汚染評価(C0120) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
エタノールをつけた綿棒の残渣分析 2015/11/26 エタノールをつけた綿棒の残渣分析(C0201) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
組成分布評価
故障解析・不良解析
揮発性有機化合物(VOC)P&Tによる微量成分の検出 2015/10/01 揮発性有機化合物(VOC)P&Tによる微量成分の検出(B0217) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
化粧品
日用品
食品
環境
微量濃度評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
安全性試験
揮発性有機化合物(VOC)前処理方法の選択 2015/10/01 揮発性有機化合物(VOC)前処理方法の選択(B0216) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
化粧品
日用品
食品
環境
微量濃度評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
安全性試験
有機膜材料の配向角評価 2015/08/20 有機膜材料の配向角評価(B0215) [XAFS]X線吸収微細構造
電子部品
太陽電池
照明
ディスプレイ
日用品
化学結合状態評価
構造評価

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