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分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価 2017/03/16 酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価(C0462) [XPS]X線光電子分光法
[XAFS]X線吸収微細構造
パワーデバイス
太陽電池
照明
酸化物半導体
その他
XAFSによるシリコン酸化膜評価 2016/10/06 XAFSによるシリコン酸化膜評価(C0439) [XAFS]X線吸収微細構造
パワーデバイス
電子部品
太陽電池
二次電池
ディスプレイ
酸化物半導体
化学結合状態評価
構造評価
イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温フォトルミネッセンススペクトル 2016/07/28 イオン注入及びアニール処理を行ったSiの低温フォトルミネッセンススペクトル(C0434) [PL]フォトルミネッセンス法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
太陽電池
構造評価
故障解析・不良解析
有機膜材料の配向角評価 2015/08/20 有機膜材料の配向角評価(B0215) [XAFS]X線吸収微細構造
電子部品
太陽電池
照明
ディスプレイ
日用品
化学結合状態評価
構造評価
薄膜表面処理後の仕事関数評価 2015/05/28 薄膜表面処理後の仕事関数評価(C0382) [UPS]紫外光電子分光法
電子部品
太陽電池
ディスプレイ
その他
低温フォトルミネッセンス測定の注意事項 2015/05/14 低温フォトルミネッセンス測定の注意事項(B0208) [PL]フォトルミネッセンス法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
照明
ディスプレイ
構造評価
Si中不純物の超高感度測定 2015/03/19 Si中不純物の超高感度測定(C0354) [SIMS]二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
太陽電池
微量濃度評価
ポリカーボネートの劣化層の評価 2014/12/04 ポリカーボネートの劣化層の評価(C0368) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
電子部品
太陽電池
日用品
化学結合状態評価
劣化調査・信頼性評価
IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例 2014/10/30 IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例(C0359) [IC]イオンクロマトグラフ法
LSI・メモリ
太陽電池
製造装置・部品
環境
微量濃度評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
ポリカーボネート表面の劣化評価 2014/09/11 ポリカーボネート表面の劣化評価(C0356) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
太陽電池
日用品
化学結合状態評価
劣化調査・信頼性評価
CIGS薄膜太陽電池の原子レベル構造分析 2014/04/17 CIGS薄膜太陽電池の原子レベル構造分析(C0339) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
太陽電池
組成分布評価
形状評価
膜厚評価
構造評価
X線によるZn系バッファ層の複合評価 2013/07/04 X線によるZn系バッファ層の複合評価(C0282) [XPS]X線光電子分光法
[XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
その他
太陽電池
酸化物半導体
組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
構造評価
金属膜の高温XRD評価 2013/06/13 金属膜の高温XRD評価(C0270) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
太陽電池
酸化物半導体
構造評価
CIGS薄膜の組成分布分析 2012/08/23 CIGS薄膜の組成分布分析(C0236) [SIMS]二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[XRF]蛍光X線分析法
その他
太陽電池
組成評価・同定
組成分布評価
膜厚評価
製品調査
CIGS粉体の組成・不純物分析 2012/08/23 CIGS粉体の組成・不純物分析(C0237) [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
その他
太陽電池
組成評価・同定
微量濃度評価
製品調査
シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量 2012/06/21 シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量(C0235) [FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
LSI・メモリ
太陽電池
化学結合状態評価
a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価 2012/05/03 a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価(C0233) [SIMS]二次イオン質量分析法
その他
太陽電池
微量濃度評価
多結晶シリコン太陽電池のPLマッピング 2011/05/26 多結晶シリコン太陽電池のPLマッピング(C0209) [PL]フォトルミネッセンス法
太陽電池
構造評価
結晶Si太陽電池の拡散層評価 2011/05/26 結晶Si太陽電池の拡散層評価(C0212) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法
その他
太陽電池
微量濃度評価
形状評価
製品調査
結晶Si太陽電池の不純物評価 2011/05/26 結晶Si太陽電池の不純物評価(C0213) [SIMS]二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
その他
太陽電池
微量濃度評価
製品調査
結晶Si太陽電池のキャリア分布評価 2011/05/26 結晶Si太陽電池のキャリア分布評価(C0214) [SEM]走査電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法
その他
太陽電池
形状評価
製品調査
CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価 2010/04/01 CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価(C0175) [EBIC]電子線誘起電流
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
太陽電池
形状評価
構造評価
CIGS薄膜太陽電池バッファ層界面の観察 2010/04/01 CIGS薄膜太陽電池バッファ層界面の観察(C0176) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
太陽電池
形状評価
構造評価
CIGS薄膜太陽電池の結晶粒と抵抗評価 2010/04/01 CIGS薄膜太陽電池の結晶粒と抵抗評価(C0174) [EBSD]電子後方散乱回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
太陽電池
形状評価
構造評価
有機薄膜太陽電池活性層の混合状態評価 2010/02/03 有機薄膜太陽電池活性層の混合状態評価(C0164) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
太陽電池
組成分布評価
形状評価
マイクロサンプリング法 2010/01/01 マイクロサンプリング法(B0004) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[FIB]集束イオンビーム加工
電子部品
太陽電池
照明
ディスプレイ
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
SEM装置での歪み評価 2010/01/01 SEM装置での歪み評価(B0098) [EBSD]電子後方散乱回折法
LSI・メモリ
電子部品
太陽電池
構造評価
応力・歪み評価
有機薄膜太陽電池の活性層の組成分布評価 2010/01/01 有機薄膜太陽電池の活性層の組成分布評価(C0159) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
雰囲気制御下での処理
太陽電池
組成評価・同定
組成分布評価
有機EL素子の成分分析 2010/01/01 有機EL素子の成分分析(C0020) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
太陽電池
照明
組成評価・同定
組成分布評価
ZnO膜の組成・不純物の三次元分布評価 2010/01/01 ZnO膜の組成・不純物の三次元分布評価(C0045) [SIMS]二次イオン質量分析法
光デバイス
太陽電池
微量濃度評価
組成分布評価

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