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分析手法

各分析手法における特徴・原理等の詳細情報を詳しくご紹介します。記載の無い手法につきましても、お気軽にお問い合わせください。

手法名(和名) 測定法(略号)
質量分析法
二次イオン質量分析法 SIMS
飛行時間型二次イオン質量分析法 TOF-SIMS
誘導結合プラズマ質量分析法 ICP-MS
イオンクロマトグラフ法 IC
ガスクロマトグラフィー質量分析法 GC/MS
液体クロマトグラフィー質量分析法 LC/MS
液体クロマトグラフィー質量分析法 LC/MS/MS
グロー放電質量分析法 GDMS
昇温脱離ガス分析法 TDS
光電子分光法
X線光電子分光法 XPS
紫外光電子分光法 UPS
X線吸収微細構造 XAFS
電子顕微鏡観察・分析
オージェ電子分光法 AES
走査電子顕微鏡法 SEM
エネルギー分散型X線分析法(SEM) SEM-EDX
三次元SEM観察法 Slice&View
電子線誘起電流 EBIC
電子後方散乱回折法 EBSD
(走査)透過電子顕微鏡法 (S)TEM
エネルギー分散型X線分光法(TEM) TEM-EDX
電子エネルギー損失分光法 TEM-EELS
電子線回折法 ED
走査イオン顕微鏡法 SIM
振動分光
フーリエ変換赤外分光法 FT-IR
ラマン分光法 Raman
X線回折関連
X線回折法 XRD
X線小角散乱法 SAXS
X線反射率法 XRR
SPM関連
原子間力顕微鏡法 AFM
走査型静電容量顕微鏡法 SCM
走査型広がり抵抗顕微鏡法 SSRM
走査型マイクロ波顕微鏡法 SMM
広がり抵抗測定法 SRA
故障解析
エミッション顕微鏡法 EMS
光ビーム加熱抵抗変動法 OBIRCH
ロックイン発熱解析法   
 そのほかの測定法
白色干渉計測法  
示差熱天秤-質量分析法 TG-DTA-MS
示差走査熱量測定 DSC
フォトルミネッセンス法 PL
蛍光X線分析法 XRF
ラザフォード後方散乱分析法 RBS
全有機体炭素測定 TOC
計算科学   
加工法・処理法
集束イオンビーム加工 FIB
Arイオンミリング加工  
ウルトラミクロトーム加工  
基板側からの測定用加工 SSDP用加工
Arイオン研磨加工 IP法
雰囲気制御下での処理  
クライオ加工  

分析手法ウィザード

分析目的に合った分析手法をご提案します。

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