局所的な組成を知りたい

電子線プローブをnmオーダーまで絞って照射して元素を検出することで局所的な組成を測定します。

	［AES］オージェ電子分光法測定プローブ：電子線測定プローブ径：数十nmφ～ B～Uまでの元素を検出可能です。測定面の最表面のみの元素を検出します。 AESの分析事例はこちら
	［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）測定プローブ：電子線測定プローブ径：数nmφ～ B～Uまでの元素を検出可能です。金属元素の検出感度が高い特徴があります。 TEM装置内のEDX分析を行うことで、数nmレベルの局所領域の組成評価を行うことができます。 TEM-EDXの分析事例はこちら
	［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法測定プローブ：電子線測定プローブ径：数nmφ～ TEM観察用の薄片試料を測定します。 EDXと比較すると軽元素の検出感度が高い傾向があります。 TEM-EELSの分析事例はこちら

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

お電話からのお問い合わせはこちら