財団法人材料科学技術振興財団は、山��貞一賞選考委員会（委員長：筑波大学名誉教授 白川 英樹博士）を経て、9月15日(水)に開催した理事会にて今年度の受賞者を下記4分野5名に決定致しました。 尚、11月に日本学士院（東京都台東区）にて贈呈式を執り行います。
【授賞理由】 半導体大規模集積回路(LSI)の微細化では、写真製版技術(リソグラフィ)が欠かせない。この微細化では、用いる光の短波長化に対応した感光材料(レジスト)の研究開発が鍵となる。21世紀初頭に要求された90nm世代のLSI製造には、従来より短い波長のフッ化アルゴン・エキシマーレーザ(ArF, 波長193nm)を用いたArFリソグラフィ技術が不可欠であった。 武智敏、野崎耕司両氏は、それまでの波長光では有効であったベンゼン環を含んだレジストがこれ以下の波長では無効となるのに対し、アダマンチル基を使った新規材料のコンセプトを1990年に世界で初めて提案した。その後、アダマンチル基とラクトン基等を組み合わせたArFエキシマーレーザリソグラフィ用新規レジスト材料の実用化が実現した。 現在では、本技術が世界の標準となっており、特許の引用回数も極めて多い。本レジスト材料は、300億円/年以上の市場規模となり、約20兆円の半導体市場のうち、このレジストを用いて生産されるLSIは、年間10兆円規模の市場と推定される。 以上の理由により、武智敏・野崎耕司両氏を第10回山��貞一賞材料分野の受賞とする。
【授賞理由】
木下博雄氏は、1986年、世界初の極端紫外線リソグラフィ(EUVL)技術を提案した。木下氏は強い信念と強いリーダシップのもと、その後25年間一貫して、EUVLの先駆的研究と実用化研究で本技術の発展に多大な貢献を行った。すなわち、多層膜反射光学系を用いた縮小露光システム、非球面反射鏡から成る光学系とマスクへの斜め入射法、Mo / Si多層膜を用いた反射鏡ならびに反射型マスク、マスク製作と検査、さらには各種レジストなど、多岐にわたる要素技術や装置関連技術を提案し実証した。 EUVLは半導体素子微細化のための最後のリソグラフィーとして本命視され、その露光機は、本年後半から量産レベル試作機(木下氏の独創技術を使用)が世界的に導入され、2-3年後には量産機が出荷される見込みである。20nm以下の半導体微細素子の実用化に向けた関連技術の開発も急速に進むものと予想される。 木下氏の先見性・独創性・長期にわたるリーダシップなしには20nm以下の半導体微細素子製造は不可能で、世界の半導体産業への貢献、さらには日本が得意とする関連周辺装置産業(光源、レジスト、マスクなど)への貢献は測り知れない。まさに世界に誇れる日本独自の大型研究成果であるため、第10回山��貞一賞半導体及び半導体装置分野の受賞とする。
生体分子の構造と機能との関係ならびに機能が生まれる仕組みを理解するには、生体分子が機能している場でその動態を直接観察する必要がある。この要求を満たすために、安藤敏夫氏は原子間力を用い高速で動作する走査型顕微鏡を開発した。 走査型顕微鏡の画質を左右する画素数が増すと、画素の集合である画像の生成時間が増加する。画質と画像生成速度とはトレードオフの関係があり、画質と速度に限界が存在した。安藤氏は限界を打破し、水溶液中や細胞中の生体分子の動きの直接観測を可能にした。 画質を保持し高速化するため、試料を載せた台をX,Y,Z軸方向にピエゾアクチュエータにより高速度で正確に駆動し、位置に対応した画像を得る。超小型の探針が試料表面に接近した際、試料との間に作用する原子間力による探針の微小変位を光学的に検出し、適切な原子間力が常に作用するようにZ軸のピエゾが駆動されるフィードバック制御系が動作する。X，Y軸は試料表面を一定間隔で2次元的に走査する制御系であり、高画質と走査速度を確保するには2次元の走査が高速度で、不要な振動を抑制しなければならない。Z軸の制御を高速化するため、制御系各要素の動特性を改善すべく、能動的な振動抑制や非線形制御などの手法を活用した。この結果、従来１画面の形成に最小30秒程度を要したが、毎秒10〜25画面が得られ、300〜750倍の高速化を実現した。 成果は多数の論文や特許となり、企業により装置が生産され、世界の研究者に使われている。 応用例として光を受けたバクテリオ・ロドプシン膜の分子の挙動を画像化した成果がNATURE Nanotechnologyに掲載された。 本業績はバイオ科学の発展に大きく貢献する成果であり、計測評価分野の山��貞一賞にふさわしい。
若山照彦氏は、哺乳動物の繁殖技術の研究に取り組み、体細胞の核を直接卵子へ注入するクローン動物作製法を考案し、マウスのクローン個体をはじめて作製した。更に様々な工夫を加えて、体細胞クローンES細胞を樹立する技術開発を行った。 これにより、高齢不妊からの子孫の作出、長期間凍結保存されていた死体からのクローン個体の作出や、凍結乾燥した精子からの産仔の作出にも成功している。現在、世界中のほぼ全てのクローンマウスの作出は若山氏の開発された方法で作られている。 以上より若山氏は、動物繁殖の基礎技術を確立し、遺伝子資源保全や優良家畜の産出など畜産業の発展への貢献が大きく期待されている。よって、第10回山��貞一賞バイオサイエンス・バイオテクノロジー分野の受賞とする。
2011
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