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エネルギー分散型X線分光法（ SEM-EDX ）
EDX : Energy Dispersive X-ray Spectroscopy

EDXは電子線照射により発生する特性X線を検出し、元素固有のエネルギーを分光することで試料の元素分析や組成分析を行う手法です。SEMまたはTEMに付属の装置ですが、ここではSEMに付属のEDXについてご紹介します。

特徴

測定範囲の全エネルギー（B～Uまで）が同時に短時間で測定可能
検出効率に優れ、試料に照射するプローブ電流が少なく、特殊な試料を除き、前処理不要で手軽に分析を行える
→未知試料の分析に適している
検出下限：1atomic%程度（元素による）

測定原理

EDXは電子線照射により発生する特性X線を検出し、元素固有のエネルギーを分光することで試料の元素分析や組成分析を行います。

～特性X線発生の過程～

①基底状態の原子に電子線を照射すると
②ある確率で、内殻電子を原子外に励起し、内殻に空孔が生じます。
③内殻に空孔を持つ状態はエネルギー的に不安定なため、外殻電子が内殻に遷移します。
④その際、遷移前の状態と遷移後の状態のエネルギー差に相当する特性Ｘ線を放出します。
⑤特性X線は元素により固有のエネルギーを持つので、これを測定することにより元素分析を行うことが出来ます。