はんだボール表面の酸化膜評価

球体形状試料の評価事例

概要

AES分析ではSEM観察機能が付随していることから、試料表面の特定箇所を測定することが可能です。
またサブμｍの微小領域での測定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料でも、曲率の影響を受けにくく、平坦試料と同様に特定箇所を狙って測定することができます。
以下は表面形状が異なる半田ボール表面の酸化膜厚を評価した事例です。

データ

図1 表面形状が異なるはんだボール表面の深さ方向分析結果（測定領域2μm□）