XPS多点測定による広域定量マッピング(B0187)

最大70×70mm領域の組成分布評価

MST技術資料No.B0187
掲載日2013/02/21
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
製品分野LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
バイオテクノロジ
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
故障解析・不良解析

概要

XPS多点測定による広域定量マッピングの事例をご紹介します。
シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価いたしました。ピーク強度ではなく存在量(原子濃度)をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。
試料表面付着物等を俯瞰的に調査することに適しています。

データ

サンプル

測定

データ

標準仕様:~4元素、~25点、定量のみ(状態評価含まない)、最大領域70×70mm
費用  :8万円~ 測定数、元素数等により加算
応用例 :結合状態を考慮したマッピング、Siの酸化膜厚マッピング、ライン分析等にも対応致しますのでご相談ください。

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