銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い(C0372)

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

概要

配線材料として用いられる銅(Cu)は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅(Cu)と、ビニール袋に入れた銅(Cu)をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続した調査により、再現性が得られていることを確認しました。
TOF-SIMSは酸化物や金属など無機物の深さ方向分析が可能です。

データ

データ1

アルミホイルによる保管はビニール袋での保管に比べ、銅(Cu)酸化膜厚が厚くなっていることがわかります。

データ2

約20日にわたり膜厚評価の再現性を調査した結果(図2)、膜厚の再現性が得られていることがわかります。

分子情報の深さ方向分析の参考出典;Harumi Masudome et.al.,Surf.InterfaceAnal.2011,43,664-668

MST技術資料No.C0372
掲載日2015/03/26
測定法・加工法[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製品分野LSI・メモリ
電子部品
ディスプレイ
分析目的化学結合状態評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
セラミックスのぬれ性原因評価 2023/12/28 セラミックスのぬれ性原因評価(C0705) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
組成評価・同定
セラミックス表面における洗浄成分の分布評価 2023/12/28 セラミックス表面における洗浄成分の分布評価(C0704) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
日用品
その他
化学結合状態評価
組成分布評価
故障解析・不良解析
セラミックスの変色原因評価 2023/12/21 セラミックスの変色原因評価(C0703) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
組成分布評価
撥水箇所の成分分析 2023/02/02 撥水箇所の成分分析(C0686) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
照明
ディスプレイ
製造装置・部品
酸化物半導体
高分子材料
日用品
組成分布評価
不純物評価・分布評価
光ファイバーのコアとクラッドの定性評価 2023/01/26 光ファイバーのコアとクラッドの定性評価(C0685) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
その他
電子部品
高分子材料
その他
組成分布評価
不純物評価・分布評価
その他
剥離原因となる金属界面の有機物評価 2022/11/10 剥離原因となる金属界面の有機物評価(B0285) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
酸化物半導体
故障解析・不良解析
不純物評価・分布評価
脂質のイメージング 2022/07/28 脂質のイメージング(C0674) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[MALDI-MS] マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析法
バイオテクノロジ
医薬品
組成分布評価
表面分析による品質管理 2021/09/09 表面分析による品質管理(C0660) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
電子部品
製造装置・部品
その他
化学結合状態評価
故障解析・不良解析
二次電池セパレータの構造評価 2021/08/12 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
[XRD]X線回折法
[TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法
[IP法]Arイオン研磨加工
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
三次元培養ヒト皮膚を用いた皮膚透過性評価 2021/03/25 三次元培養ヒト皮膚を用いた皮膚透過性評価(C0647) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[HPLC]高速液体クロマトグラフ法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
クライオ加工
その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
食品
微量濃度評価
組成分布評価
構造評価
製品調査
安全性試験

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ