3D Image Viewer ご紹介（Slice and Viewデータ閲覧ソフト）
3D Image Viewer 概要
3D Image ViewerはSlice and Viewによる2D画像データを3D感覚でとらえることのできる画像閲覧ソフトです。
- 連続的な断面像からの3D再構築
- X.Y.Z軸に垂直な任意の断面像を表示できます。
Slice and Viewについて
- いままで、FIB加工断面の１枚のSEM像から、立体的な構造情報を判断することは困難でした。
- FIB付き高分解能SEM装置を用いて、細かく加工SliceしながらのSEM観察Viewが可能です。
- 半導体デバイスの立体的な形状評価
- 信頼性試験後の金属配線中ボイド､断線の探索
- パターン合わせずれ量評価
- 層間膜の埋め込み性評価
- コンタクトの接蝕面積の評価
- Wコンタクト内シームの形状評価
- ｺﾝﾊﾟｸﾄﾃﾞｨｽｸ記録層ピットの形状観察
- 積層構造界面のラフネス評価
