先日開催されました先進パワー半導体分科会 第14回研究会併催 テーブルトップ展示会におきましては、ご多忙中にもかかわらず、私どものブースにご来場いただき、誠にありがとうございました。
お蔭様をもちまして盛況のうちに展示会を終了することが出来ました。重ねてお礼申し上げます。
皆様から賜りました貴重なご意見をもとに、職員一同、より一層の分析サービス向上に励む所存でございます。
今後とも、ご指導ご鞭撻のほど、何卒宜しくお願い申し上げます。
MSTブース展示内容
- ワイドギャップ半導体β-Ga2O3のドーパント存在サイト同定・電子状態評価
- 非破壊分析（X線CT）及び断面観察によるデバイス、材料の品質・出来栄え調査
- SiC Trench MOSFET のSNDMおよびSMMによる拡散層評価