X-ray Computed Tomography
特徴
試料にX線を照射することで、試料内部構造の二次元透過像を取得します。また、試料を回転させた連続撮影データから、X線CT（Computed Tomography）像を構築します。
- 非破壊で、試料の内部構造や欠陥形状などの確認が可能。
- 3D像や任意箇所での断面像を構築可能。
- X線エネルギーは30 ～160 kVの間で設定できるため、有機材料から電子部品まで幅広く対応可能。
- 専用ステージにより、引張/圧縮や冷却/加温した状態で試料のX線CT測定が可能。
適用例
- リチウムイオン電池の内部構造観察、クラック・異物の調査
- 炭素繊維強化プラスチック（CFRP)の形状・サイズ・繊維配向評価
- カプセル剤中の顆粒形状・サイズ・充填率評価
- 透過像から、断面加工位置の特定など物理解析箇所の確認
- 半導体パッケージ品など電子部品の形状評価、欠陥調査
- アルミ溶接部分のボイドや異物の有無調査
- ウレタン材中の空隙形状・サイズ評価
- 化粧品内部の微細構造観察、フィラーの分散確認
- 製品の出来栄え評価
原理
X線照射により試料内部構造の二次元透過像を取得しながら試料を回転させ、得られた連続撮影データからX線CT（Computed Tomography）像を構築します。なお、測定の視野サイズ・分解能は、X線管と検出器の幾何学的距離によって決まります。
装置構成
X線管、二次元検出器、主演算装置画像処理ソフト
データ例
不具合品トランジスタ
赤矢印の箇所に断線が確認されました。過電流等により、ワイヤに負荷が掛かり焼き切れたと想定されます。
炭素繊維強化プラスチック（CFRP）
繊維が直交している様子を捉えています。また、材料内にある5μm程度のボイド（赤丸部分）も確認できます。
データ形式
| PDFファイル | 画像データ |
| m3dファイル | X線CT像（断面像）表示ファイル（MSTオリジナルソフトウェア用） |
| JPEGファイル | 画像データ（必要な場合は別途ご相談ください） |
| mp4ファイル | 動画データ（別料金） |
| Excelファイル | 解析データ（別料金） |
その他形式についても対応可能な場合があります（別料金）。別途ご相談ください
仕様
| 限界空間分解能 | 0.5 μm（試料サイズ、測定視野により空間分解能は変動します） |
| 最大撮像範囲 | Φ140 mm×H 100 mm（左記を超える試料の場合はご相談ください） |
| 搭載可能サンプル | 最大 外径300mm、重量25kg（左記を超える試料の場合はご相談ください） |
| 管電圧 | 30 ～160kV（左記を超える条件をご所望の場合はご相談ください） |
| 冷却/加温範囲 | -20 ～160 ℃（試料台表面の温度となります） |
| 引張/加圧負荷 | ～5 kN |
| その他 | 各種解析（空隙率解析、繊維配向解析、肉厚解析など） |
必要情報
1.目的/測定内容
2.試料情報
(1)数量、形状（サイズ）、組成
(2)試料種・層構造・膜厚
(3)着目箇所の大きさ・厚み（要求分解能）
(4)試料到着日
(5)注意事項
3.ご希望納期
注意点
- セラミックなど一部材質は、X線照射による変色の可能性があります。
- 試料サイズが視野サイズより大きい場合、明瞭なCT像が取得できない可能性があります。
- 密度が高い試料（タングステン、バリウムなどの重金属含有など）は、X線が透過しないため、CT像が取得できない場合があります。
- in situ測定（引張/圧縮、冷却/加温）は専用のステージを用いるため、形状・サイズに制限があります。詳細は別途お問合せください。