XPS:X線光電子分光法
概要
XPS分析ではX線照射により得られた光電子のエネルギーを観測することにより、物質表面の結合状態評価を行います。金属元素が酸化状態にあるかどうかの評価はもちろん、酸化によるエネルギーシフト(ケミカルシフト)が大きい元素では、複数の価数の存在、及び存在割合についての評価も可能となります。以下に、複数価数評価可能な主な金属元素と酸化物を示します。
複数価数評価可能な主な金属酸化物


XPS分析ではX線照射により得られた光電子のエネルギーを観測することにより、物質表面の結合状態評価を行います。金属元素が酸化状態にあるかどうかの評価はもちろん、酸化によるエネルギーシフト(ケミカルシフト)が大きい元素では、複数の価数の存在、及び存在割合についての評価も可能となります。以下に、複数価数評価可能な主な金属元素と酸化物を示します。


| MST技術資料No. | B0210 |
|---|---|
| 掲載日 | |
| 測定法・加工法 | [XPS]X線光電子分光法 |
| 製品分野 | その他 |
| 分析目的 | 化学結合状態評価/膜厚評価 |
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