TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評価が可能
概要
ポリイミドは非常に耐熱性が高く電気絶縁性も優れていることから、電子部品をはじめとして様々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機成分が壊れにくいスパッタ条件にてTOF-SIMS測定を行い、深さ方向にポリイミド成分を評価しました。GCIB（Arクラスター）をスパッタに用いると着目する有機成分を深さ方向に測定することが可能です。※GCIB：Gas Cluster Ion Beam
データ
データ例
スパッタイオン源に、GCIB（Arクラスター）を用いると、最表面と同じように有機物の分子情報を得ることが可能となっています。これにより、ポリイミド表面層の有機分子の深さ方向分析が可能となりました。
