酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価(C0462)

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

MST技術資料No.C0462
掲載日2017/03/16
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
[XAFS]X線吸収微細構造
製品分野パワーデバイス
太陽電池
照明
酸化物半導体
分析目的その他

概要

薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。
今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバンドギャップ評価が可能となりました。本手法は特に各種酸化膜・窒化膜の評価に対して有効です。
本資料では窒化シリコン(SiN)膜のバンドギャップ評価事例をご紹介します。

データ

本手法の特長

  • 試料構造の制約が少ない(数nm程度の極薄膜、任意の基板上の成膜でも評価可能)
  • 幅広いバンドギャップ値を評価可能(~10eV程度)
  • 値の算出における不確かさが小さく、従来よりも高精度な評価が可能

窒化シリコン(SiN)膜の測定事例

SiN膜の価電子帯(XPS)、X線吸収スペクトル(XAFS)
SiN膜のバンド構造

参考文献:S. Toyoda, et al., Appl. Phys. Lett. 87, 102901 (2005).

各種酸化膜、窒化膜のバンドギャップ評価に有効です

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価 2019/02/14 XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価(C0549) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
構造評価
角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜の組成分布評価 2019/02/07 角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜の組成分布評価(C0550) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
構造評価
Sn酸化物に対する還元処理の検証~XPSと計算シミュレーションの比較から~ 2019/02/07 Sn酸化物に対する還元処理の検証~XPSと計算シミュレーションの比較から~(C0544) [XPS]X線光電子分光法
その他
酸化物半導体
日用品
化学結合状態評価
その他
セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価 2018/09/13 セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価(C0532) [XAFS]X線吸収微細構造
LSI・メモリ
照明
酸化物半導体
化学結合状態評価
XPSによるμmオーダーの深さ方向分析 2018/08/30 XPSによるμmオーダーの深さ方向分析(C0529) [XPS]X線光電子分光法
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
X線吸収・発光分光によるバンド構造評価 2018/03/22 X線吸収・発光分光によるバンド構造評価(C0514) [XAFS]X線吸収微細構造
その他
LSI・メモリ
照明
酸化物半導体
その他
XPSによるプラスチック容器ガスバリア膜の評価 2018/03/08 XPSによるプラスチック容器ガスバリア膜の評価(C0513) [XPS]X線光電子分光法
日用品
食品
組成評価・同定
化学結合状態評価
製品調査
XPSによる歯科インプラントの評価 2018/03/08 XPSによる歯科インプラントの評価(C0512) [XPS]X線光電子分光法
医薬品
その他
組成評価・同定
製品調査
軟X線発光分光によるGaNの評価 2018/02/22 軟X線発光分光によるGaNの評価(C0511) [XAFS]X線吸収微細構造
その他
LSI・メモリ
照明
酸化物半導体
その他
XPSにおける吸着酸素の影響 2018/02/01 XPSにおける吸着酸素の影響(B0240) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
パワーデバイス
組成評価・同定

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん