AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価(C0451)

SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能

MST技術資料No.C0451
掲載日2020/05/06
測定法・加工法[AES]オージェ電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
製品分野LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
分析目的組成評価・同定
組成分布評価

概要

金属表面の変色や異物の簡便的な調査にはSEM-EDX分析やAES分析が適していますが、変色や異物が薄い・小さい場合は、表面のごく浅い領域(4~5nm程度)の情報が得られるAES分析が有効です。
MST保有のAES装置はSEM像を取得できるため、SEM象で着目箇所の確認をしながらAES分析を行うことが可能です。本事例では、Cu表面に存在する変色部をAES分析とSEM-EDX分析で評価し、比較したデータをご紹介します。また、AES深さ方向分析を行った結果を併せてご紹介します。

データ

Cu赤褐色部のAES・SEM-EDX分析結果

各結果より赤褐色部では
 AES分析:主にZn, Fe, Cu
 SEM-EDX分析:主にCu
が検出され、Cu表面上にZn, Feを含む物質が存在している可能性が示唆されました。
AES分析では検出深さが浅いため、表面側(4~5nm程度)の情報を得ることが可能です。

Cu赤褐色部のAES分析深さ方向プロファイル

定性分析と同箇所にてAES深さ方向分析を行った結果、
 Zn, Feの酸化層/ Cu酸化層/ Cu(母材)
の深さ方向分布が得られ、各酸化層が変色の一因である可能性が推察されました。
AES分析では検出深さが浅いため、このような深さ方向分布を得ることが可能です。

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価 2020/07/23 SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価(C0612) [AES]オージェ電子分光法
[XPS]X線光電子分光法
その他
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
膜厚評価
Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察 2020/07/16 Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察(C0610) [SEM]走査電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
製品調査
Xe-プラズマFIBによる構造解析 2020/07/16 Xe-プラズマFIBによる構造解析(B0255) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価 2020/07/09 二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価(C0606) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
[IP法]Arイオン研磨加工
二次電池
組成分布評価
形状評価
製品調査
二次電池正極活物質の構造評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の構造評価(C0605) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
二次電池
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池セパレータの構造評価 2020/07/09 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
液晶ディスプレイの劣化分析 2020/06/25 液晶ディスプレイの劣化分析(C0601) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IC]イオンクロマトグラフ法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
計算科学・データ解析
ディスプレイ
微量濃度評価
化学結合状態評価
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
消毒前後における不織布マスクの表面形状観察 2020/06/18 消毒前後における不織布マスクの表面形状観察(C0598) [SEM]走査電子顕微鏡法
日用品
ウイルス対策関連品
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
二次電池正極活物質の劣化評価 2020/06/11 二次電池正極活物質の劣化評価(C0593) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Raman]ラマン分光法
[XRD]X線回折法
二次電池
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん