AESによるCu表面変色部の評価(C0451)

SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能

MST技術資料No.C0451
掲載日2016/12/01
測定法・加工法[AES]オージェ電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
製品分野LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
分析目的組成評価・同定
組成分布評価

概要

金属表面の変色や異物の簡便的な調査にはSEM-EDX分析やAES分析が適していますが、変色や異物が薄い・小さい場合は、表面のごく浅い領域(4~5nm程度)の情報が得られるAES分析が有効です。
MST保有のAES装置はSEM像を取得できるため、SEM象で着目箇所の確認をしながらAES分析を行うことが可能です。本事例では、Cu表面に存在する変色部をAES分析とSEM-EDX分析で評価し、比較したデータをご紹介します。また、AES深さ方向分析を行った結果を併せてご紹介します。

データ

Cu赤褐色部のAES・SEM-EDX分析結果

各結果より赤褐色部では
 AES分析:主にZn, Fe, Cu
 SEM-EDX分析:主にCu
が検出され、Cu表面上にZn, Feを含む物質が存在している可能性が示唆されました。
AES分析では検出深さが浅いため、表面側(4~5nm程度)の情報を得ることが可能です。

Cu赤褐色部のAES分析深さ方向プロファイル

定性分析と同箇所にてAES深さ方向分析を行った結果、
 Zn, Feの酸化層/ Cu酸化層/ Cu(母材)
の深さ方向分布が得られ、各酸化層が変色の一因である可能性が推察されました。
AES分析では検出深さが浅いため、このような深さ方向分布を得ることが可能です。

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