非接触三次元測定装置によるウェハ反り評価(B0306)

非接触三次元測定装置

スペック

  • 測定原理: ポイントオートフォーカスプローブ
         [特徴]試料表面の色や反射率の影響を受けることなく広範囲の高精度測定が可能
  • 可動範囲: X軸250mm , Y軸200mm , Z軸100mm
  • 高さ測定(Z) : 測定精度(0.3 + 0.5 L / 10) μm ※L : 測定視野領域幅(mm)
  • 幅測定(X ,Y) : 測定精度(2 + 4 L / 1000) μm ※L : 測定視野領域幅(mm)
  • 測定再現性: σ = 0.03 μm
  • 評価物条件: 最大高さ105mm , 最大重量12kg

分析事例:6インチSi ウェハの反り評価

観察データ

解析データ

MST技術資料No.B0306
掲載日2024/12/26
測定法・加工法その他
製品分野LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
分析目的形状評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
非接触三次元測定装置によるウェハ反り評価 2024/12/26 非接触三次元測定装置によるウェハ反り評価(B0306) その他
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
形状評価
薬物代謝に関わる遺伝子多型解析 2024/10/17 薬物代謝に関わる遺伝子多型解析(B0305) その他
バイオテクノロジ
医薬品
その他
ECLIA法による免疫関連項目の測定 2024/04/11 ECLIA法による免疫関連項目の測定(B0300) その他
その他
その他
新型コロナウイルスPCR検査・抗体検査 2024/04/11 新型コロナウイルスPCR検査・抗体検査(B0299) その他
その他
その他
SNP解析の概要と特徴 2024/03/28 SNP解析の概要と特徴(B0298) その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
食品
環境
その他
リアルタイムPCR法によるSNP解析 2024/03/28 リアルタイムPCR法によるSNP解析(B0297) その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
食品
環境
その他
光ファイバーのコアとクラッドの定性評価 2023/01/26 光ファイバーのコアとクラッドの定性評価(C0685) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
その他
電子部品
高分子材料
その他
組成分布評価
不純物評価・分布評価
その他
果物によるグルコシルセラミドの違いを調査 2022/12/22 果物によるグルコシルセラミドの違いを調査(C0683) [HPLC]高速液体クロマトグラフ法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
その他
化粧品
日用品
食品
その他
新型コロナウイルスゲノム解析 2022/11/24 新型コロナウイルスゲノム解析(C0679) 計算科学・AI・データ解析
その他
バイオテクノロジ
その他
耐候性試験による製品劣化調査 2022/08/11 耐候性試験による製品劣化調査(C0676) その他
耐候性試験
光デバイス
電子部品
太陽電池
照明
ディスプレイ
日用品
劣化調査・信頼性評価
製品調査
安全性試験

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ