金属・無機材料

金属・無機材料は、電子部品、半導体、金属、セラミックス、セメントなど、多様な分野で使用されており、その性能や信頼性は最終製品の品質を大きく左右します。

材料中における不純物の濃度評価や結晶性評価、構造解析を行います。

金属・無機材料の分析例を以下に示します。

分析項目		分析手法
濃度評価	主成分分析	XRF・XPS
	微量不純物分析	SIMS・GDMS・IC・ICP-MS・ICP-AES
結晶性評価	結晶サイズ	SEM・TEM・XRD・EBSD・TEM ED-Map・SIM
	配向性	TEM・XRD・EBSD・TEM ED-Map
構造解析	歪み・応力	XRD・Raman・EBSD・TEM
	粒界・欠陥・転位	TEM・SEM・PL