異常箇所を調べたい
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［XRF］蛍光X線分析法
照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。 -
［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
全元素範囲（B～U）の同時分析が可能で、細い電子線プローブによる面分析や線分析、分布像取得が可能な手法です。 -
［AES］オージェ電子分光法
電子線照射で放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量を評価する手法です。 -
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［EMS］エミッション顕微鏡法
半導体素子の酸化膜リーク箇所・ホットキャリア発生箇所を特定します。
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［SCM］走査型静電容量顕微鏡法・［SNDM］走査型非線形誘電率顕微鏡法
導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手法です。 -
［AFM］原子間力顕微鏡法
微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 -
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［Raman］ラマン分光法
射光と分子との相互作用の結果、入射光の振動数が変化するという光散乱現象（ラマン効果）を利用し、分子中の構造についての情報を得る手法です。 -
［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法
分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。 -
［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
薄片化した試料に電子線を照射し、試料を透過した電子や散乱した電子を結像し、高倍率で観察する手法です。 -
［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）
電子線照射で発生する特性X線を同時に検出し、広範囲の元素組成を短時間かつ高感度に分析できる手法です。前処理不要で未知試料の迅速評価にも適します。 -
［XPS］X線光電子分光法
X線照射で放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量・化学結合状態を評価する手法です。 -
［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法
試料表面の構造解析を行う手法です。最表面の有機汚染の同定や、スパッタイオン源を用いた深さ方向分布解析が可能な手法です。 -
［SEM］走査電子顕微鏡法
試料に電子線照射して得られる信号から、試料表面のμm程度の凹凸や組成の違いを画像で確認できます。