層構造を知りたい

試料を加工して断面から観察することで、ご指定箇所の積層構造を測定します。
パターン無しの平坦な積層膜の場合、X線反射率の測定が有効です。

[SEM]走査電子顕微鏡法
  • 測定プローブ:電子線
  • 空間分解能:0.5nm~
  • 倍率:×30~×300,000
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
  • 測定プローブ:電子線
  • 空間分解能:0.1nm~
  • 倍率:×20,000~×5,000,000
  • 極薄膜(~1nm)の評価まで可能です。
[SIM]走査イオン顕微鏡法
  • 測定プローブ:Gaイオンビーム
  • 空間分解能:4nm~
  • 倍率:×30~×30,000
  • 金属多結晶膜のグレイン評価に有効です。
[XRR]X線反射率法
  • 測定プローブ:X線
  • 空間分解能:10mm~30mm□
  • 検出深さ:数nm~数um
  • 膜厚と密度をシミュレーションで算出します。
    平坦な表面が必要です。

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