pn接合・拡散層の形状を知りたい

[SCM]走査型静電容量顕微鏡法
  • 測定プローブ:探針
  • 測定エリア:500nm~90um□
  • キャリア濃度:1015~1020cm-3
  • 加工した断面を探針を走査することで、p/nのキャリア分布を可視化します。
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
  • 測定プローブ:探針
  • キャリア濃度:1014~1021cm-3
  • 加工した断面を探針で走査することで、マイクロ波の反射率からキャリア濃度に相関する信号を取得し、キャリア分布を可視化します。キャリア濃度を半定量換算可能です。
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
  • 測定プローブ:探針
  • 空間分解能:nm~
  • 加工した断面を探針を走査することで、広がり抵抗分布を可視化します。
[EBIC]電子線誘起電流
  • 測定プローブ:電子線
  • 空間分解能:nm~
  • SEM装置中で、電子線照射で生じた電流を測定することでp-n接合位置を可視化します。
    割断・加工断面にて測定します。
[SRA]広がり抵抗測定法
  • 測定プローブ:探針
  • キャリア濃度:2×1013~2×1020cm-3
  • 加工した斜面を2本の探針を接触させて電気抵抗を測定することでキャリア濃度に換算します。

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