表面の組成を知りたい

[XPS]X線光電子分光法
  • 測定プローブ:X線
  • 測定プローブ径:9umφ~
  • 表面から数nmの深さを検出し、組成を調べます。
    絶縁物でも測定可能です。
[AES]オージェ電子分光法
  • 測定プローブ:電子線
  • 測定プローブ径:数nm~
  • 表面から数nmの深さを検出し、組成を調べます。
    絶縁物はチャージアップするため苦手です。
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
  • 測定プローブ:電子線
  • 電子線が試料内で散乱するため、表面から数百nm~数umの深さの元素を検出します。
    EPMAと比べてX線のエネルギー分解能が劣りますが、低加速電圧での測定が可能です。
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
  • 測定試料最表面膜を溶液化して回収し、イオン化させて含有物の組成を調べます。
    pptレベルで金属不純物評価が可能です。

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てむぞう&ますみん

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