変色している原因を調べたい

変色箇所と正常箇所を測定して比較することで、変色の原因を調査します。

[XPS]X線光電子分光法
  • 測定プローブ:X線
  • 測定プローブ径:9umφ~
  • 変色した領域の表面(深さ数nmまで)の元素を検出します。
    領域内の元素の結合状態も合わせて測定できます。
[AES]オージェ電子分光法
  • 測定プローブ:電子線
  • 測定プローブ径:数十nmφ
  • 変色した領域の表面(深さ数nmまで)の元素を検出します。
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
  • 測定プローブ:電子線
  • 電子線が試料内で散乱するため、表面から数百nm~数umの深さの元素を検出します。
[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
  • 測定プローブ:イオンビーム
  • 測定プローブ径:250nmφ
  • 変色した領域の最表面から出る分子イオンを測定します。

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