室内雰囲気中の腐食成分分析(C0436)

インピンジャー捕集法による大気中イオン成分の分析が可能です

概要

半導体やその製造プロセス分野では環境中に存在する無機物や有機物を制御することが重要とされています。
MSTではインピンジャー捕集法により室内雰囲気中の成分を回収し、雰囲気中腐食成分の種類や量を分析することが可能です。今回はイオンクロマトグラフィーを用いたインピンジャー捕集-イオンクロマトグラフ法で分析した事例を紹介します。

データ

• 測定対象成分
• 陰イオン：F^-, Cl^-, Br^-, NO₂^-, NO₃^-, SO₄^2- , PO₄^3- など
• 陽イオン：NH₄⁺, Li⁺, Na⁺, K⁺, Mg²⁺, Ca²⁺
• その他　：有機酸, アミン類など
• インピンジャー捕集セットの貸し出しも可能です。

MST技術資料No.	C0436
掲載日	2016/08/18
測定法・加工法	［IC］イオンクロマトグラフ法
製品分野	LSI・メモリ 電子部品 製造装置・部品 環境
分析目的	微量濃度評価 その他