製造装置・部品

製造装置の部材表面に汚染や異物が存在すると、製品へのコンタミネーションの原因となります。
そこで、硬質材料のサンプルであっても適切なサイズに切り出し、表面構造・成分を分析するサービスを提供しております。
製造装置・部品の部材評価の分析例を以下に示します。

評価項目	分析手法
構造・形状・寸法	SEM・TEM
不純物の分布・拡散評価	SIMS
異物の成分評価	AES・XPS・TOF‐SIMS・Raman・FT‐IR・SEM‐EDX・TEM‐EDX・XRF
表面の変色原因調査	AES・XPS・TOF‐SIMS・SEM‐EDX
表面の化学結合状態評価	XPS・TOF‐SIMS
表面の凹凸評価	AFM・白色干渉計測法
結晶構造評価	XRD・EBSD・ED
脱ガスの分析	GC/MS・TDS
腐食成分の評価	IC

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