製造装置・部品

製造装置の部材表面に汚染や異物が存在すると、製品へのコンタミネーションの原因となります。
そこで、硬質材料のサンプルであっても適切なサイズに切り出し、表面構造・成分を分析するサービスを提供しております。
製造装置・部品の部材評価の分析例を以下に示します。

評価項目 分析手法
構造・形状・寸法 SEMTEM
不純物の分布・拡散評価 SIMS
異物の成分評価 AESXPSTOF‐SIMSRamanFT‐IRSEM‐EDXTEM‐EDXXRF
表面の変色原因調査 AESXPSTOF‐SIMSSEM‐EDX
表面の化学結合状態評価 XPSTOF‐SIMS
表面の凹凸評価 AFM白色干渉計測法
結晶構造評価 XRDEBSDED
脱ガスの分析 GC/MSTDS
腐食成分の評価 IC

製造装置・部品の分析事例はこちらからご覧ください。

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てむぞう&ますみん

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