酸化物半導体

金属酸化物の中には半導体特性を示すものがあり、TFTやパワーデバイス、センサー等への応用を目指して研究が進んでいま す。
酸化物半導体の分析例を以下に示します。

評価項目 部位 分析手法
形状・構造解析 実製品 SEMTEM
バルク・薄膜 XAFS
結晶構造解析 実製品 TEMEDEBSD
バルク・薄膜 XRD
不純物濃度分析 実製品 SIMS
主成分濃度分析 実製品 AESXPSTEMTEM‐EDX
バルク・薄膜 ICP‐MS
活性層形状評価 実製品 SCMSSRM
仕事関数評価 バルク・薄膜 UPS

酸化物半導体の分析事例はこちらからご覧ください。

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てむぞう&ますみん

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