分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
X線によるZn系バッファ層の複合評価 2013/07/04 X線によるZn系バッファ層の複合評価(C0282) [XPS]X線光電子分光法
[XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
その他
太陽電池
酸化物半導体
組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
構造評価
SiC基板のゲート酸化膜評価 2013/01/24 SiC基板のゲート酸化膜評価(C0281) [XPS]X線光電子分光法
[XRR]X線反射率法
パワーデバイス
化学結合状態評価
膜厚評価
IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価 2012/12/27 IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価(C0283) [XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
LSI・メモリ
ディスプレイ
酸化物半導体
膜厚評価
構造評価
熱物性評価
有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定 2010/01/01 有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定(C0067) [XRR]X線反射率法
照明
ディスプレイ
形状評価
膜厚評価
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