X線によるZn系バッファ層の複合評価(C0282)

組成・結合状態・構造・密度の評価が可能

MST技術資料No.C0282
掲載日2013/07/04
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
[XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
その他
製品分野太陽電池
酸化物半導体
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
構造評価

概要

CIGS薄膜太陽電池の高効率化において、光吸収層から透明電極までのバンド構造や結晶性の制御のために様々なバッファ層材料が検討されております。
平坦化された基板上に成膜したZn系バッファ層についてX線による各種評価を行った事例を示します。
成膜条件による水準間、成膜後の各種プロセスの水準間での比較が可能です。

データ

※平坦化されたCIGS膜などでも可能です。
薄膜部の信号ピークとの干渉を避けるため事前にお問い合わせください。

サンプルご提供:東京工業大学 山田明研究室

XPS

透明電極からバッファ層までの組成分布

O1sスペクトルを波形解析することで透明電極およびバッファ層中のZnについて硫化・酸化・水酸化の状態に分離することが可能です。

非破壊で薄膜の結晶性、膜厚、密度を測定することが可能です。

In-plane XRD

回折プロファイルの同定から薄膜中に含まれる結晶性物質としてZnO, ZnSが検出されました。

XRR

プロファイルの振動・振幅から透明電極とバッファ層にわずかな密度差があることがわかりました。

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
毛髪断面の微細構造(S)TEM分析 2021/01/14 毛髪断面の微細構造(S)TEM分析(C0643) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
ウルトラミクロトーム加工
その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
膜厚評価
ネガティブ染色による(S)TEM観察事例 2021/01/14 ネガティブ染色による(S)TEM観察事例(C0642) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
その他
医薬品
化粧品
日用品
食品
形状評価
製品調査
電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察 2020/11/26 電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察(C0640) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
その他
日用品
その他
形状評価
その他
SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価 2020/07/23 SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価(C0612) [AES]オージェ電子分光法
[XPS]X線光電子分光法
その他
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
膜厚評価
顔料のダイレクトMS法による同定分析 2020/07/23 顔料のダイレクトMS法による同定分析(C0611) その他
日用品
組成評価・同定
製品調査
Xe-プラズマFIBによる構造解析 2020/07/16 Xe-プラズマFIBによる構造解析(B0255) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池セパレータの構造評価 2020/07/09 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
XPSによるSn表面の状態評価 2020/07/02 XPSによるSn表面の状態評価(C0603) [XPS]X線光電子分光法
電子部品
酸化物半導体
化学結合状態評価
その他
切断加工を併用した金属配管内壁のXPS分析 2020/07/02 切断加工を併用した金属配管内壁のXPS分析(C0602) [XPS]X線光電子分光法
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん