IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価(C0283)

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

MST技術資料No.C0283
掲載日2012/12/27
測定法・加工法[XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
製品分野LSI・メモリ
ディスプレイ
酸化物半導体
分析目的膜厚評価
構造評価
熱物性評価

概要

透明酸化物半導体であるIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいます。
IGZOは膜の組成・酸素欠損の有無・結晶性で大きく特性が変化する材料でもあり、膜質との相関を考慮することが重要です。加熱温度の異なる3種類のIGZO薄膜の結晶性・膜厚・膜密度をXRD・XRRにて測定し、比較を行った事例をご紹介します。高温では結晶化が進み、膜密度が高くなっている様子を非破壊で確認することができました。

データ

IGZO膜のXRD(X線回折法)評価事例

IGZO膜のXRR(X線反射率法)評価事例

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化 2019/10/03 リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化(C0577) [XRD]X線回折法
計算科学・データ解析
二次電池
ディスプレイ
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
構造評価
医薬品の結晶多形評価 2017/07/13 医薬品の結晶多形評価(C0473) [XRD]X線回折法
医薬品
組成評価・同定
構造評価
HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出 2016/11/10 HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出(C0447) [XAFS]X線吸収微細構造
[XRD]X線回折法
LSI・メモリ
構造評価
粉体異物の定性分析 2016/02/18 粉体異物の定性分析(C0408) [FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
[XRD]X線回折法
[XRF]蛍光X線分析法
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
故障解析・不良解析
2次元検出器を用いたX線回折測定 2015/08/13 2次元検出器を用いたX線回折測定(B0212) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
酸化物半導体
構造評価
極点測定 2015/08/13 極点測定(B0213) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
構造評価
XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価 2015/06/25 XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価(C0384) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[XRD]X線回折法
パワーデバイス
形状評価
構造評価
X線によるZn系バッファ層の複合評価 2013/07/04 X線によるZn系バッファ層の複合評価(C0282) [XPS]X線光電子分光法
[XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
その他
太陽電池
酸化物半導体
組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
構造評価
金属膜の高温XRD評価 2013/06/13 金属膜の高温XRD評価(C0270) [XRD]X線回折法
LSI・メモリ
太陽電池
酸化物半導体
構造評価
SiC基板のゲート酸化膜評価 2013/01/24 SiC基板のゲート酸化膜評価(C0281) [XPS]X線光電子分光法
[XRR]X線反射率法
パワーデバイス
化学結合状態評価
膜厚評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん