深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析(C0692)

様々なAl組成のAlGaN中不純物の定量が可能です

概要

SIMS分析で不純物濃度を求めるためには、分析試料と同じ組成の標準試料を使うことが必要です。紫外LEDやパワーデバイスに使われているAlGaNについて、様々なAl組成のAlGaN標準試料を取りそろえることで、MSTではより精度の高い不純物の定量が可能です。
市販深紫外LEDを解体後、SIMS分析を行い、ドーパントのMgの濃度、及び主成分のAl組成の分布を求めた事例を紹介いたします。

データ

MST技術資料No.C0692
掲載日2023/03/23
測定法・加工法[SIMS]二次イオン質量分析法
製品分野パワーデバイス
光デバイス
照明
ディスプレイ
分析目的微量濃度評価
製品調査
不純物評価・分布評価

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