深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析(C0692)
様々なAl組成のAlGaN中不純物の定量が可能です
概要
SIMS分析で不純物濃度を求めるためには、分析試料と同じ組成の標準試料を使うことが必要です。紫外LEDやパワーデバイスに使われているAlGaNについて、様々なAl組成のAlGaN標準試料を取りそろえることで、MSTではより精度の高い不純物の定量が可能です。
市販深紫外LEDを解体後、SIMS分析を行い、ドーパントのMgの濃度、及び主成分のAl組成の分布を求めた事例を紹介いたします。
データ
| MST技術資料No. | C0692 |
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| 掲載日 | 2023/03/23 |
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| 測定法・加工法 | ［SIMS］二次イオン質量分析法
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| 製品分野 | パワーデバイス
光デバイス
照明
ディスプレイ
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| 分析目的 | 微量濃度評価
製品調査
不純物評価・分布評価
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