分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価 2016/12/01 Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価(C0443) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SRA]広がり抵抗測定法
パワーデバイス
電子部品
微量濃度評価
製品調査
SRAの濃度換算について 2014/07/17 SRAの濃度換算について(B0196) [SRA]広がり抵抗測定法
LSI・メモリ
パワーデバイス
微量濃度評価
SRAの深さ換算について 2014/07/03 SRAの深さ換算について(B0197) [SRA]広がり抵抗測定法
LSI・メモリ
パワーデバイス
微量濃度評価
水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例 2014/03/27 水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例(C0322) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SRA]広がり抵抗測定法
パワーデバイス
微量濃度評価
パワーデバイスのキャリア濃度分布評価 2012/12/20 パワーデバイスのキャリア濃度分布評価(C0285) [SRA]広がり抵抗測定法
その他
パワーデバイス
微量濃度評価
組成分布評価
製品調査
パワーデバイスのドーパントおよびキャリア濃度分布の評価 2012/12/20 パワーデバイスのドーパントおよびキャリア濃度分布の評価(C0286) [SRA]広がり抵抗測定法
その他
パワーデバイス
微量濃度評価
組成分布評価
製品調査
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てむぞう&ますみん

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