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イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
SRAによるIGBTチップのキャリア濃度分布評価 2020/04/30 SRAによるIGBTチップのキャリア濃度分布評価(C0443) ［SIMS］二次イオン質量分析法
［SRA］広がり抵抗測定法
 パワーデバイス
電子部品
 微量濃度評価
製品調査
SRAの濃度換算について 2014/07/17 SRAの濃度換算について(B0196) ［SRA］広がり抵抗測定法
 LSI・メモリ
パワーデバイス
 微量濃度評価
SRAの深さ換算について 2014/07/03 SRAの深さ換算について(B0197) ［SRA］広がり抵抗測定法
 LSI・メモリ
パワーデバイス
 微量濃度評価
水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例 2014/03/27 水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例(C0322) ［SIMS］二次イオン質量分析法
［SRA］広がり抵抗測定法
 パワーデバイス
 微量濃度評価
パワーデバイスのキャリア濃度分布評価 2012/12/20 パワーデバイスのキャリア濃度分布評価(C0285) ［SRA］広がり抵抗測定法
その他
 パワーデバイス
 微量濃度評価
組成分布評価
製品調査
パワーデバイスのドーパントおよびキャリア濃度分布の評価 2012/12/20 パワーデバイスのドーパントおよびキャリア濃度分布の評価(C0286) ［SRA］広がり抵抗測定法
その他
 パワーデバイス
 微量濃度評価
組成分布評価
製品調査
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