パワーデバイスのキャリア濃度分布評価(C0285)

ドーパントの活性化率に関する評価が可能

MST技術資料No.C0285
掲載日2012/12/20
測定法・加工法[SRA]広がり抵抗測定法
その他
製品分野パワーデバイス
分析目的微量濃度評価
組成分布評価
製品調査

概要

SRA(Spreading Resistance Analysis)はサンプルを斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です(図1)。
キャリア濃度分布を評価することで、ドーパントの活性化状況についての知見を得ることが可能です。
一例として、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と外周部(図2)についてSRAを行った事例をご紹介します。

データ

図3の断面構造を持つダイオードチップのSRAの結果を図4-1,2に示します。
外周部、中央部共に、表面から深さ方向のキャリア濃度分布についての知見が得られました。
SRA測定では、幅広い濃度約1E12~1E21atoms/cm3・深さ約0.05~300μmの測定が可能です。

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