SRAの濃度換算について(B0196)

SRA:広がり抵抗測定法

MST技術資料No.B0196
掲載日2014/07/17
測定法・加工法[SRA]広がり抵抗測定法
製品分野LSI・メモリ
パワーデバイス
分析目的微量濃度評価

キャリア濃度への変換

(1)斜め研磨した試料面に2探針を接触させ直下の広がり抵抗(Ω)を測定します。

(2)標準試料の測定より校正曲線*)を作成し、それを用いて抵抗を比抵抗(Ω・cm)に変換します。
また、必要に応じて体積補正による分布の補正を行います。
  *)校正曲線は導電型(p型/n型)、および面方位によって異なります

(3)比抵抗とキャリア濃度の関係を示すThurberの曲線を用いてキャリア濃度を算出します。
なお、キャリア濃度と比抵抗には以下の関係があります。

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