SRAの濃度換算について(B0196)

SRA：広がり抵抗測定法

（1）斜め研磨した試料面に2探針を接触させ直下の広がり抵抗（Ω）を測定します。

（2）標準試料の測定より校正曲線^＊）を作成し、それを用いて抵抗を比抵抗（Ω・cm）に変換します。
また、必要に応じて体積補正による分布の補正を行います。
＊)校正曲線は導電型(p型/n型)、および面方位によって異なります

（3）比抵抗とキャリア濃度の関係を示すThurberの曲線を用いてキャリア濃度(/cm³)を算出します。
なお、キャリア濃度と比抵抗には以下の関係があります。

掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
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2014/07/17	SRAの濃度換算について(B0196)	［SRA］広がり抵抗測定法	LSI・メモリパワーデバイス	微量濃度評価
2014/07/03	SRAの深さ換算について(B0197)	［SRA］広がり抵抗測定法	LSI・メモリパワーデバイス	微量濃度評価
2014/03/27	水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例(C0322)	［SIMS］二次イオン質量分析法［SRA］広がり抵抗測定法	パワーデバイス	微量濃度評価
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