SRAの深さ換算について(B0197)

SRA:広がり抵抗測定法

MST技術資料No.B0197
掲載日2014/07/03
測定法・加工法[SRA]広がり抵抗測定法
製品分野LSI・メモリ
パワーデバイス
分析目的微量濃度評価

試料斜め研磨角度と測定間隔より深さへ変換

SR測定は試料を斜め研磨して、その試料面に2探針を移動させながら接触させ、直下の電気抵抗を測定します。
ある測定点における試料表面からの深さは三角関数の定義より、試料の斜め研磨角度をθとした時のSinθの値(ベベルアングル) とベベルエッジからその測定点までの距離の積より求められます。
尚、ベベルエッジから距離は【X-step 】×【測定点数】となります。

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