分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
リチウムイオン二次電池正極材料の原子分解能分析 2017/08/03 リチウムイオン二次電池正極材料の原子分解能分析(C0475) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
[ED]電子回折法
二次電池
組成評価・同定
組成分布評価
構造評価
電子回折の種類と特徴 2015/09/17 電子回折の種類と特徴(B0214) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
その他
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価
製品調査
IGZO膜の局所結晶構造解析 2013/12/26 IGZO膜の局所結晶構造解析(C0330) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
酸化物半導体
形状評価
構造評価
SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価 2013/10/10 SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価(C0292) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
[ED]電子回折法
[FIB]集束イオンビーム加工
パワーデバイス
組成評価・同定
形状評価
構造評価
CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価 2010/04/01 CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価(C0175) [EBIC]電子線誘起電流
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
太陽電池
形状評価
構造評価
素子分離領域の歪解析 2010/01/01 素子分離領域の歪解析(C0016) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
LSI・メモリ
応力・歪み評価
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