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イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
TEM観察によるLIB(リチウムイオン)正極材料の解析 2020/04/30 TEM観察によるLIB(リチウムイオン)正極材料の解析(C0475) ［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
［ED］電子回折法
 二次電池
 組成評価・同定
組成分布評価
構造評価
電子回折の種類と特徴 2015/09/17 電子回折の種類と特徴(B0214) ［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
［ED］電子回折法
 その他
 形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価
製品調査
IGZO膜の局所結晶構造解析 2013/12/26 IGZO膜の局所結晶構造解析(C0330) ［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
［ED］電子回折法
 酸化物半導体
 形状評価
構造評価
SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価 2013/10/10 SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価(C0292) ［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）
［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法
［ED］電子回折法
［FIB］集束イオンビーム加工
 パワーデバイス
 組成評価・同定
形状評価
構造評価
CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価 2010/04/01 CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価(C0175) ［EBIC］電子線誘起電流
［EBSD］電子後方散乱回折法
［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
［ED］電子回折法
 太陽電池
 形状評価
構造評価
素子分離領域の歪解析 2010/01/01 素子分離領域の歪解析(C0016) ［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法
［ED］電子回折法
 LSI・メモリ
 応力・歪み評価
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