電子回折の種類と特徴(B0214)

 TEM:透過電子顕微鏡法

MST技術資料No.B0214
掲載日2015/09/17
測定法・加工法[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
製品分野その他
分析目的形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価
製品調査

電子回折法の種類と特徴

透過電子顕微鏡での電子回折法は、試料への電子線の入射の仕方によって3つに分類されます。それぞれの特徴とデータ例を示します。評価対象物のサイズや分析目的に応じて、適切な手法を選択する必要があります。

電子回折のビーム径と回折スポットの大きさ

測定対象の結晶サイズよりも電子線のビーム径が大きくなると、回折スポットが小さくなるという特徴があります。よって、ビーム径は対象の結晶サイズに合わせて適宜設定する必要があります。

様々なビーム径で取得した単一のAuナノ結晶からの電子回折

ナノ結晶集合体からの電子回折

ナノ結晶に対してビーム径が同等もしくは小さい場合と、ビーム径が十分大きい場合の電子回折による評価例を示します。ランダム配向した無数のナノ結晶集合体に対し大きなビーム径を適用すると、電子回折パターンは非晶質からのハローパターンと類似のパターンを示すため、注意が必要です。

参考文献)平田, 弘津 日本結晶学会誌 49, 122(2007)

電子回折法の長所・短所

長所

  • 電子線の入射の仕方により、SAED, NBD, CBEDの3種に分類され、NBDとCBEDでは1nmΦ~、SAEDでは100nm~数μmφまでの測定領域が選択できます。

短所

  • 破壊分析(粉体除く)
  • 電子線が透過する厚みへの加工が必要。
  • 結晶構造の同定は、晶帯軸入射からのずれが大きい場合や、類似の構造が複数存在する場合、構成元素の情報の有無によって難しいこともあるため、参考データとさせていただいております。

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
DRAMチップの解析 2019/04/04 DRAMチップの解析(C0542) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
製品調査
STEM・EDXデータと像シミュレーションの組み合わせによる結晶構造評価 2019/03/14 STEM・EDXデータと像シミュレーションの組み合わせによる結晶構造評価(C0558) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
計算科学・データ解析
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
二次電池
酸化物半導体
構造評価
STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した多結晶体の結晶構造解析 2019/03/14 STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した多結晶体の結晶構造解析(C0557) [EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
計算科学・データ解析
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
二次電池
酸化物半導体
構造評価
CMOSセンサの総合評価 2018/11/29 CMOSセンサの総合評価(C0537) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
光デバイス
電子部品
組成評価・同定
形状評価
構造評価
PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価 2017/11/15 PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価(C0494) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[PL]フォトルミネッセンス法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
パワーデバイス
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
リチウムイオン二次電池正極材料の原子分解能分析 2017/08/03 リチウムイオン二次電池正極材料の原子分解能分析(C0475) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
[ED]電子回折法
二次電池
組成評価・同定
組成分布評価
構造評価
高電子移動度トランジスタの評価 2016/02/25 高電子移動度トランジスタの評価(C0410) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
パワーデバイス
膜厚評価
構造評価
ABF-STEM観察によるGaNの極性評価 2016/02/18 ABF-STEM観察によるGaNの極性評価(C0409) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
パワーデバイス
光デバイス
形状評価
膜厚評価
構造評価
電子回折の種類と特徴 2015/09/17 電子回折の種類と特徴(B0214) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
その他
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価
製品調査
チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察 2015/07/30 チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察(C0390) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
LSI・メモリ
形状評価
構造評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん