IGZO膜の局所結晶構造解析(C0330)

電子回折で結晶性・配向性を連続的に評価

MST技術資料No.C0330
掲載日2013/12/26
測定法・加工法[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
製品分野酸化物半導体
分析目的形状評価
構造評価

概要

IGZO膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいる材料です。
薄膜中の結晶構造の有無はTFT特性や信頼性に影響する可能性があり、デバイス中における局所的な結晶評価が必要になります。
TEMの電子回折測定を用いてIGZO膜中の結晶構造を連続的に評価した事例をご紹介します。

データ

市販品TFTのIGZO膜の領域で連続的に極微電子回折図形を取得した結果、膜表面に対しInGaZnO4結晶のC軸に該当する配向性が確認できました。TEM像では明瞭にグレインが判別できないナノ結晶構造を有する材料に対しては極微電子回折測定が有効です。

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