分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
AES分析による半田ボールの酸化膜厚評価 2018/11/01 AES分析による半田ボールの酸化膜厚評価(C0528) [AES]オージェ電子分光法
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
炭素繊維強化プラスチック(CFRP)内部の超音波顕微鏡観察 2018/10/04 炭素繊維強化プラスチック(CFRP)内部の超音波顕微鏡観察(C0526) [C-SAM]超音波顕微鏡法
製造装置・部品
日用品
形状評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
TDSによるステンレス中水素脱離量の分析 2018/09/20 TDSによるステンレス中水素脱離量の分析(C0531) [TDS]昇温脱離ガス分析法
製造装置・部品
微量濃度評価
その他
XPSによるμmオーダーの深さ方向分析 2018/08/30 XPSによるμmオーダーの深さ方向分析(C0529) [XPS]X線光電子分光法
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
TDSによる温度保持中の脱ガス評価 2018/08/23 TDSによる温度保持中の脱ガス評価(C0530) [TDS]昇温脱離ガス分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
製造装置・部品
微量濃度評価
その他
ウエハ表面の金属・有機物汚染評価 2018/04/05 ウエハ表面の金属・有機物汚染評価(C0503) [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製造装置・部品
組成評価・同定
Ramanによる金属部材上の異物分析 2018/04/05 Ramanによる金属部材上の異物分析(C0502) [Raman]ラマン分光法
製造装置・部品
組成評価・同定
発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析 2018/03/01 発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析(B0241) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
製造装置・部品
日用品
組成評価・同定
液中AFM測定を用いた基板上の高分子の形状変化観察 2018/02/08 液中AFM測定を用いた基板上の高分子の形状変化観察(C0508) [AFM]原子間力顕微鏡法
電子部品
ディスプレイ
製造装置・部品
医薬品
日用品
形状評価
TDSによる腐食性ガス分析 2017/12/28 TDSによる腐食性ガス分析(C0500) [TDS]昇温脱離ガス分析法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
微量濃度評価
故障解析・不良解析
その他
炭素材料のラマンマッピング 2017/09/28 炭素材料のラマンマッピング(C0489) [Raman]ラマン分光法
電子部品
二次電池
製造装置・部品
医薬品
組成分布評価
構造評価
GPCによる分子量分布測定 2017/09/21 GPCによる分子量分布測定(B0239) [HPLC]高速液体クロマトグラフ法
ディスプレイ
製造装置・部品
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
食品
劣化調査・信頼性評価
製品調査
XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価 2017/08/24 XRFによるウエハ上Au薄膜の面内膜厚評価(C0480) [XRF]蛍光X線分析法
パワーデバイス
照明
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価 2017/08/24 XRFによるウエハ上Au薄膜の付着量評価(C0479) [XRF]蛍光X線分析法
パワーデバイス
照明
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
酸化アルミニウム薄膜の局所構造解析 2017/08/10 酸化アルミニウム薄膜の局所構造解析(C0478) [XAFS]X線吸収微細構造
LSI・メモリ
製造装置・部品
化学結合状態評価
構造評価
SiN膜中の金属汚染評価 2017/04/06 SiN膜中の金属汚染評価(C0465) [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
製造装置・部品
微量濃度評価
Siウエハ表面の金属汚染評価 2017/04/06 Siウエハ表面の金属汚染評価(B0233) [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
製造装置・部品
環境
微量濃度評価
代表的な材料・目的別のTDS解析例 2017/03/30 代表的な材料・目的別のTDS解析例(B0232) [TDS]昇温脱離ガス分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
ディスプレイ
製造装置・部品
酸化物半導体
微量濃度評価
その他
金属(Sn)の昇温脱離ガス分析 2017/02/02 金属(Sn)の昇温脱離ガス分析(C0458) [TDS]昇温脱離ガス分析法
製造装置・部品
組成評価・同定
その他
ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価 2016/12/15 ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価(B0230) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製造装置・部品
酸化物半導体
組成評価・同定
微量濃度評価
故障解析・不良解析
AESによるCu表面変色部の評価 2016/12/01 AESによるCu表面変色部の評価(C0451) [AES]オージェ電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
EGA-MS法による発生ガス分析 2016/12/01 EGA-MS法による発生ガス分析(B0229) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
製造装置・部品
日用品
熱物性評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
TOF-SIMSによるノズル表面・内壁の分析 2016/11/02 TOF-SIMSによるノズル表面・内壁の分析(C0446) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
日用品
組成分布評価
樹脂のアウトガス(脱ガス)分析 2016/10/20 樹脂のアウトガス(脱ガス)分析(C0444) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製造装置・部品
組成評価・同定
製品調査
ハートカットEGA法による発生ガス分析 2016/10/13 ハートカットEGA法による発生ガス分析(B0228) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
製造装置・部品
日用品
熱物性評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
室内雰囲気中の腐食成分分析 2016/08/18 室内雰囲気中の腐食成分分析(C0436) [IC]イオンクロマトグラフ法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
環境
微量濃度評価
その他
樹脂中に存在している異物の評価 2016/05/19 樹脂中に存在している異物の評価(C0426) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
表面酸化膜のある異物の状態評価 2016/04/14 表面酸化膜のある異物の状態評価(C0420) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
試料濃縮針による揮発性成分の濃縮分析 2016/03/31 試料濃縮針による揮発性成分の濃縮分析(B0224) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製造装置・部品
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
食品
組成評価・同定
ウエハ最表面の微量元素分析における前処理法 2016/03/31 ウエハ最表面の微量元素分析における前処理法(B0225) [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
製造装置・部品
環境
微量濃度評価

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