はんだボール表面酸化膜の三次元分布評価(B0284)

AES分析により、面内の元素分布を深さ方向へ可視化します

概要

AES分析は試料表面に電子線を照射し、サブμm～数十μm領域の組成情報を容易に得ることができます。そのため、表面凹凸が大きい試料の深さ方向分析では、数μm角の測定領域で評価することにより、深さ方向分解能（プロファイルの傾きの急峻性）を高く維持できます。一方で、数μm角の領域では得られる情報が局所的となるため、面内の組成が不均一と想定される場合には、広域（数十μm視野）の面分布取得を併せて取得できる深さ方向分析が有効です。
以下に、はんだボール表面の酸化膜の元素分布を深さ方向へ取得した事例を紹介します。表面凹凸に応じて酸化膜の分布が異なっており、酸化膜厚に違いがあることが確認されました。

データ

関連資料：
分析事例C0528 はんだボール表面の酸化膜評価

✔試料表面組成の不均一性が可視化できます
✔深さ方向へデータを取得することで、
　面内分布が三次元で確認できます
✔ご指定箇所のプロファイル抽出も可能です

Sn酸化膜の分布

※測定元素スズ、銀、酸素合計100at%に対する酸素の割合を表示
※深さはSiO₂換算値

この分析事例のPDFファイルを開くはんだボール表面酸化膜の三次元分布評価

MST技術資料No.	B0284
掲載日	2022/09/29
測定法・加工法	［AES］オージェ電子分光法
製品分野	LSI・メモリ電子部品製造装置・部品
分析目的	組成評価・同定組成分布評価

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