AI技術を用いたCT画像のアーチファクト低減(C0653)

AI技術でCT画像のメタルアーチファクトを低減し画像解析精度を向上

概要

X線CT測定ではサンプルの三次元構造を非破壊で観察することが可能です。しかし、X線ビームを使用する性質上、金属を多く含むサンプルの測定においてはメタルアーチファクトと呼ばれる暗い線状の虚像が発生することがあり、内部構造の測長や画像解析における妨げとなります。
本資料では試料の材質情報と物理モデルを基にCT画像再構成の最適化を行った事例をご紹介します。本技術によりアーチファクトを低減することができ、より鮮明な内部構造評価が可能です。

データ

三次元再構成データ画像解析前の小型カメラのCT画像

樹脂と金属のCT観察に有用。メタルアーチファクトで構造が鮮明に

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MST技術資料No.	C0653
掲載日	2021/07/01
測定法・加工法	X線CT法計算科学・AI・データ解析その他
製品分野	LSI・メモリ電子部品製造装置・部品日用品
分析目的	形状評価構造評価

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